中國蘇州知名企業近期完成了商業化熱氣泡式噴墨打印頭產品的開發，即將率先投入市場。據了解，該產品打印分辨率高達1200dpi，熱氣泡式噴墨打印頭產品的芯片由蘇州微納制造中試線加工。
熱氣泡噴墨打印基本原理
熱氣泡式噴墨的過程如下：
在正常情況下噴墨頭內部的墨水在表面張力的作用下與外界大氣壓達成相對的平衡，處于穩定狀態。
當噴墨頭接收到打印信號后，噴墨頭內部的加熱元件迅速升溫，使其附近的墨水溫度急劇上升并汽化，從而形成小氣泡。小氣泡逐漸變大，形成蒸氣膜。
當打印信號消失后，持續的余熱使氣泡進一步膨脹，內部產生的壓力將墨水從噴嘴處擠出，同時加熱器件的溫度開始下降。
隨著加熱器件表面溫度的降低，氣泡和墨水分界處開始冷卻，由于墨水前端已從噴嘴處擠出，而后端又由于墨水收縮而使噴頭內部壓力減小，噴嘴處產生負壓，再將墨水吸回到噴頭內。
當噴頭內氣泡消失后，負壓力繼續作用，墨滴與噴嘴完全分離，剩余墨水被吸回到噴頭內，噴頭回到初始平衡狀態。
熱氣泡式噴墨技術的優點：噴頭生產成本較低。
熱氣泡式噴墨打印頭加工工藝，涉及高性能電阻薄膜制備、異型孔drie刻蝕、高精度高均勻性噴射結構制備等關鍵技術，其中包含微結構加工工藝、釋放工藝、犧牲層材料工藝、結構層材料工藝等多種工藝模塊。
蘇州微納制造中試線是國內首個全開放、市場化運營的中試平臺，在熱氣泡式噴墨打印頭產品加工過程中，憑借獨具優勢的工藝模塊和相關核心技術，成功幫助該客戶實現了科研級、工業級熱氣泡式噴墨打印頭的工藝開發，為客戶提供了可批量生產的噴墨頭產品。
蘇州微納制造中試線完成了高均勻性電阻薄膜沉積、低溫低應力pecvd薄膜沉積、犧牲層釋放、噴孔結構層制備、有機材料層刻蝕及釋放、高深寬比異型孔深硅刻蝕等多種新工藝和特殊工藝的開發，以及可用于噴墨頭產品的工藝集成技術的開發。


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